为了将电火花加工技术应用到微机械制造中，分析了微细电火花加工中的关键技术，开发了微细电火花加工机床．该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成．该机床具有三轴联动数控功能，各轴的进给分辨率均为0．1um．主轴的回转跳动<1 um，转速为1 000～25 000r／min，可以连续变速．该机床小到可以放在一张桌面上．在这台机床上进行了初步工艺实验，稳定地加工出了直径<15um的微细轴和25um的微细孔，还加工出了微三维结构．
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