由来自工业界和学术界的国际顶级专家参与撰写,是一本对未来纳米制造技术有浓厚兴趣的人必读的书。
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《纳米半导体器件与技术》介绍了半导体工艺从标准的CMOS硅工艺到新型器件结构的演变,包括碳纳米管、石墨烯、量子点、III-V族材料。
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