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一文看懂如何设计电涡流传感器

成功设计涡流传感器所必需的经验可以很容易地获得,因为印刷电路传感器易于成本低廉地制作原型,只需要基本的电子仪器进行测试。

照片1.在这里展示的径向和推力磁轴承中,德国米铱公司的三个差分涡流探头监测X,Y和Z运动,精度<0.0001英寸,可见分量为从左)电动机插孔轴;弹性联轴器(黑色);左推力壳体和定子;带垫片的推力盘用于安装;右推力壳体,定子和推力探头;径向涡流探针组件;径向磁性轴承壳体和定子;辅助衬套组件;和泵驱动轴。

涡流传感器广泛用于非接触式位置,位移和接近度测量。根据磁感应原理,这些探测器可以精确测量金属目标的位置,即使是介入非金属材料,如塑料,不透明流体和污垢[1]。这些传感器具有固有的坚固性,并且可以在污染环境中的宽温度范围内运行,从而击败光学,声学甚至电容式设备。涡流传感器的一个更具特殊性的应用是在磁性轴承中提供位置反馈(参见照片1和侧栏)。在磁性轴承组件中,旋转轴悬挂在磁场中以实现无磨损且几乎无摩擦的旋转。为了保证轴承的稳定性,涡流传感器通常用于向磁体控制器提供位置反馈。

实用的涡流传感器的直径从几毫米到一米不等,最大感应范围大致等于线圈的半径。线性度通常为感测范围的1%,1 ppmrms /√Hz的噪声水平很常见。温度漂移范围为〜100 ppm /°C至1000 ppm /°C。一个小型传感器可以解析纳米尺寸的位移,并测量1毫米跨度到10微米的总精度。 50 kHz的带宽很容易实现。




图1.传感器线圈中的交流电流会产生振荡磁场,从而在目标表面产生涡流。线圈阻抗随间隙变化,并通过传感器和信号处理电子元件转换为线性输出。

物理和行为

涡流位移传感器由四个部件组成(见图1):传感器线圈,目标,传感器驱动电子部件和信号处理模块,可以是电路或微处理器算法。

当传感器线圈由AC电流驱动时,它会产生一个振荡磁场,在指定目标的任何附近金属物体上感应出涡流。涡流沿相反的方向循环


图2.涡流传感器可以建模为变压器(A),其耦合系数取决于间距。 该模型可以简化为一个电感器和电阻器(B),这两个电感器都取决于间距x。

减少线圈中的磁通量,从而减小线圈的电感。 涡流也消耗能量,增加线圈的电阻。 如图2(A)所示,线圈和目标构成弱耦合空芯变压器的初级和(短路)次级。 目标的移动改变了耦合,并且该移动被反映为线圈端子处的阻抗变化。



空芯变压器模型在物理上是精确的,但为了电路设计的目的,有损耗的电感器更简单且更有用。在图2(B)中,传感器线圈的复阻抗表示为一个串联LR电路。电感L和电阻R随目标位置或间隙而变化。随着目标接近线圈,电感降低,电阻通常上升。电感的变化是五倍,为感测目标位置提供物理基础。



电感和电阻是传感器的重要特性,因为它们直接对应于物理机制,可直接用于电路设计和仿真。但是,品质因数Q更直接地与传感器的最终性能相关联。 Q被定义为:



 等式(1)



ω=传感器的工作频率,单位为弧度/秒



Q取决于间距x,因为L和R都是位移的函数。 Q的值越高,传感器的反应越纯粹。高Q值导致高精度和稳定性。 L的具体值是次要的




图3. 38 mm直径的测量结果。 1 MHz的PC传感器显示电感,电阻和Q如何受目标位移的影响。当目标靠近时,电感迅速变化,但在一个线圈半径处响应明显衰减。

因为它只受制于可制造线圈的需要以及以合理频率燃烧合理能量的实际电路设计的限制。 R的具体价值甚至更不感兴趣,因为R首先是不希望的寄生效应。

图3显示了L,R和Q如何依赖于目标间距。这些数据来自于直径38毫米,带有铝制靶材的空芯PC传感器的实际测量数据。这些测量是在Hewlett-Packard的HP4285A LCR测量仪上以1MHz进行的。请注意,位移已经归一化为传感器半径(19 mm),以便图形能够定性描述各种尺寸的传感器的行为。随着对峙增加,电感增加四倍,电阻稍微减小,结果Q增加。所有三个参数的变化都是非常非线性的,并且随着对数增加,每条曲线都呈指数衰减。灵敏度随距离的快速损失严格限制涡流传感器的范围至线圈直径的1/2,并构成这种类型传感的最重要限制。




图4.目标电导率影响38 mm PC传感器的响应(A)。不锈钢靶材产生更高的涡流损耗和更高的阻力,当间距x很小时。在(B)中,电感对导电率非常不敏感,铝和不锈钢的Q值相对于间距x绘制。

线圈的阻抗也受到以下因素的影响:



目标尺寸,平整度和厚度

靶材料特性,特别是电导率和磁导率

目标和线圈的温度

线圈几何形状和直流电阻

工作频率



图4显示了目标材料对铝和不锈钢靶材的影响。钢靶具有1/28的铝导电率,导致更高的涡流损耗和更高的电阻,特别是在接近间距时。目标导电率几乎不影响电感。电阻和电感都不能很大程度上依赖于线圈与目标物相互作用较弱的较大感应距离处的目标。



图5显示了传感器对频率的响应。首先注意7MHz处的谐振行为,这是由电缆和绕组间电容引起的。电感峰值的频率称为自谐振频率(SRF),传感器必须在其下面操作,看起来像一个




图5. 38毫米PC传感器的频率依赖性表明,Q随频率增加,直到线圈变为自谐振。通过这个图表,我们可以找到一个工作频率,使Q最大化,同时保持在自谐振以下。

电感。我们希望以高频率操作传感器以使Q值最大化,但频率必须至少保持在SRF以下三分之一。由于这些是相反的要求,所以选择工作频率显然是优化的一个机会。空芯线圈的实际频率值通常介于100 kHz和10 MHz之间。

温度漂移证明是涡流传感器中的关键误差源,并且由复杂的因素引起。电感和电阻都具有正温度系数,这取决于频率。例如,对于工作频率为1 MHz的38 mm PC线圈,电感增加为88 ppm /°C。并且电阻在2400 ppm /°C时增加。 (温度漂移将在后面的文章中详细讨论。)



目标选择

涡流传感器的响应取决于目标的电导率和磁导率。在某些应用中,设计师可以自由选择目标材料;在其他情况下,目标是设计者无法控制的机器或组件的一部分。高导电性,非磁性金属,如铝或铜,成为最佳目标。即使传感器响应是涡流和磁阻的混合,磁性金属也是很好的选择。磁阻描述了磁性材料改变磁路中有效磁导率的方式。当磁性靶材接近线圈时,涡流会减小电感,而磁阻会增加电感。由于这些效应方向相反,它们可能会相互抵消。最终结果是在小偏差值处传感器响应中容易避免的零点。

趋肤效应或交流电流在导体表面流动的趋势适用于线圈和目标。由于趋肤效应,目标中的电流密度随着离表面的距离呈指数下降。趋肤效应的特征在于趋肤深度,即电流密度下降到其表面值的1 / e的距离。导体中趋肤深度的表达式由下式给出:



  等式(2)

δ=趋肤深度(米)


ω=弧度频率(弧度/秒)

μ=磁导率(亨利/米)

σ=电导率(西门子/米)



对于非磁性材料,μ=μo= 1.26 x 10-6 H / m。表1显示了传感器设计中感兴趣的频率在几种材料中的趋肤深度。请注意,电导率和频率越低,涡流越深入目标。如果目标的厚度至少有两个趋肤深度,厚度基本上被消除作为测量中的一个因素[2]。然而,这个经验法则是非常保守的。


除厚度,电导率和渗透率之外的几个目标特征以难以预测的方式影响传感器行为。如果目标的横向尺寸小于传感器直径的两倍,目标是弯曲的,或者其表面粗糙度与趋肤深度相当,则可以看到差异。尽管这些情况很难建模,但所有这些都可以通过建立原型传感器并使用LCR仪表测量其响应来进行测量。诸如HP4285A之类的多功能多频仪器对于传感器设计非常有价值,因为它直接显示L,R和Q以足够的灵敏度来测量温度漂移等微小的影响。



传感器设计

近乎最佳的涡流传感器的设计非常简单。我们首先需要建立一些直观的指导方针和一套简化的设计方程。使用LCR测量仪测量原型传感器,然后为电子设计提供高度准确和详细的数据。

如果小尺寸是主要目标,基于线绕线圈的传感器是最佳选择。线绕线圈中使用的细磁线通过最大化匝数而最小化电阻来增加传感器Q.在显微镜下,电磁线必须用完好的层(通常用手)包装。然后将线圈插入机加工的保护架中,并用环氧树脂封装,以便机械稳定绕组。线绕传感器是劳动密集型产品,通常成本超过100美元。



当成本是首要考虑因素时,印刷在PCB上的线圈可提供优异的性能,而成本仅为线绕传感器的一小部分。打印传感器线圈的优点包括:



原型。模具成本只有几百美元。单一原型运行可以在传感器设计上产生大量的变化。

制造业。 PCB工艺高度自动化,标准化并且广泛可用。印刷电路板处理能够从几十到几百万传感器进行扩展。

成本。卷的成本不到1美元,但布线和连接器很容易控制整体价格。

性能。性能与线绕传感器竞争较大直径(> 10 mm)。

特殊配置。柔性电路材料上的传感器和传感器阵列创造了独特的应用机会。

印刷传感器的主要折衷是尺寸。打印直径<10 mm的线圈很困难。在PCB上并且仍然匹配线绕传感器的性能。表2列出了涡流传感器设计中最重要的因素和权衡。Factors in Sensor Design [2]


Placing electronics on or near the sensor limits the temperature range 完整的传感器通常具有连接线圈和电子器件的电缆。电缆可以是PCB上的同轴电缆,双绞线,带状电缆或迹线。电缆以多种方式影响系统设计和性能,因为所有电缆都具有电感,电容和直流电阻。电缆的电感增加了传感器的电感。由于电缆电感是静态的(对位移不敏感),因此会降低传感器的净敏感度。电缆电容构成了谐振电路网络的一部分,因此电缆电容的任何不稳定性都会降低测量精度。电缆电容随温度和电缆移动的变化会产生测量误差。涡流传感器的一个常见问题是噪声可以追溯到电缆振动。电涡流传感器可能非常敏感,以致在双绞线附近移动的手显示为可观察的位移误差,所以最高性能的传感器需要完全屏蔽的同轴电缆。电缆的电阻与传感器线圈串联,有助于减少Q和温度漂移。为获得最佳性能,我们必须使用高质量的微波同轴电缆,如RG-178或RG-316。这些电缆具有高度稳定的聚四氟乙烯介质和低电容。



当价格是一个重要的考虑因素,并且可以牺牲一些稳定性时,双绞线或带状电缆就足够了,并且可以使用非常便宜的连接器。双绞线可以直接焊接到印刷线圈传感器上,至少消除一组连接器。通过将传感器接口电路放置在印刷电路线圈的背面,可以大大减少由电缆引起的测量误差。即使电路工作在线圈的磁场中,线圈“看到”电路,性能也不会受到严重影响。尽管如此,避免电路中的接地层或任何大的环路区域是很重要的,因为传感器会将这些视为第二个目标。由于传感器电路与线圈集成在一起,我们仍然必须通过电缆传输电源并检索输出信号,但这种电缆绝不会影响测量精度。



为了建立传感器设计的准则,我们需要预览传感器驱动电路。本文“电路设计”部分介绍的电路将传感器置于振荡器环路中,并与电容器共振。振荡频率(谐振频率)取决于目标位移并且是电路的输出。在LC振荡器中,频率与1 /√LC成正比。具有印刷电路线圈的空芯传感器的设计遵循以下步骤:



 1.设置外部线圈半径ro。我们需要:

ro> 2 x感应范围,适用于典型设计

ro =积极设计的感应范围



 2.选择线圈的制造技术。制造技术决定了组成线圈绕组走线的宽度,宽度,厚度,t和间距p。



 3.计算可在单层上打包的匝数。

在较早的步骤中确定外部线圈半径ro。

内部线圈半径ri应该至少为外部半径的1/3。



每层的匝数是:



  等式(3)

 4.使用Burkett的电感方程[3]计算无负载电感。空载电感是没有目标的自由线圈的电感。现在假设一层。



  等式(4)

 5.根据电缆长度和制造商的单位长度电容规格计算电缆电容CCABLE。假设单层线圈的绕组间电容CIWC为零。对于双层线圈,估计CIWC为平行板电容的1/4,计算为绕组是固体金属片。因此,对于双层线圈:



  等式(5)

哪里:



εr=相对介电常数(无量纲数; FR-4PC板的εr= 4.2)

εo=自由空间的介电常数= 8.86×10-12F / m

h =线圈厚度(米)



 6.估算自谐振频率:



  等式(6)

 7.选择操作频率。对于LC振荡器电路,最小频率与最大电感一致,并发生在最大间距下。最大电感大约由公式4给出。我们希望最大频率(通常约为最小值的两倍)不超过SRF的1/3,因此电缆和绕组间电容的影响很小。有了这些考虑,我们有:



  等式(7)

  等式(8)

  等式(9)

哪里:



C =总并联谐振电容,L来自公式4.公式9可用于计算在所需频率下谐振传感器所需的电容。



 8.计算线圈的直流电阻:



  等式(10)

l =线圈绕组的长度


ρ= 1 /σ=线圈绕组的电阻率

w =线圈绕组的走线宽度

t =线圈绕组中迹线的厚度



9.估算最差情况下的交流电阻,由于集肤效应和邻近效应,该电阻比直流电阻高。



  RAC = 2RDC(11)

 10.计算未加载的Q.(没有目标的自由线圈的Q值)。



  式(12)

我们需要:

对于典型设计,卸载Q> 15

对于Q> 15的设计,卸载Q> 5



如果Q不够高,请考虑在线圈中增加额外的层。将层数加倍会使匝数增加一倍,这会使电感增加四倍,而电阻仅增加一倍。 Q因此大致翻倍。另外,请按照表2中的指导来增加Q.



 11.空载电感是否可以接受?如果电感太高(除了大线圈以外的罕见情况),谐振电容可能太低,使电缆和绕组间电容主导传感器行为。如果电感太低(常见问题,特别是对于小线圈),电路可能会消耗过多的功率,或者需要不切实际的高工作频率以获得可接受的Q.



我们需要:

1μH<L <100μH的典型设计(但目标为L> 10μH)

对于积极的设计,L <1μH



如果电感太低,通过使用更精细的PC技术,增加层数或使用混合集成电路技术来增加匝数。



 12.制作线圈原型并在LCR仪表上测量以确认设计并收集L(x)和R(x)(x =间隔)数据。数据将被用于设计电子设备。要进行这些测量,请使用合适的夹具将目标和传感器连接到测微计。




图6.在传感器中添加一个电容器可以创建一个谐振传感器网络,该网络可以放大阻抗对目标位移的灵敏度。 (jω)= V(jω)/ I(jω)=电路的复阻抗。


电涡流传感器的电路设计面临的挑战是开发与绝对值成线性比例并与温度无关的输出。传感器将位移转换为阻抗变化,电路将阻抗变化转换为另一个电参数,例如RF载波的振幅,相位或频率。该信号必须经过解调,温度补偿,线性化,偏移和缩放。这些步骤可以通过电路,算法或两者的组合来执行。

几乎所有涡流传感器电路的基础如图6所示,其中传感器线圈与电容器共振。谐振引起电路阻抗Z(jω)的突变,如图7所示,其中中点为x = 4mm。在图7(A)中,谐振频率和峰值高度处的幅度峰值取决于Q值,Q值又取决于目标位移。在图7(B)中,相位从低频处的+90移动到高频处的90。




图7.图6中谐振传感器网络的阻抗Z取决于频率和目标位移。目标距离x改变幅度峰值(A)和相位过零(B)的频率,为位置感测提供基础。

相变的频率取决于电感,这取决于目标位置。

将位移转换为电压的一种常见方式是简单地用固定频率的电流源驱动谐振电路,并解调出现在传感器两端的电压的幅度或相位。幅度和相位检测都很复杂,需要独立的振荡器,相位检测器,低通滤波器和模拟后处理电路。



为了设计一个成本最低的位置传感器,可以考虑图8所示的自激振荡电路。它是一个使用低电压CMOS逻辑门的直接栅极振荡器。两个逆变器产生




图8.带有涡流传感器的LC门极振荡器电路会产生一个取决于目标支座的频率输出。微控制器可以通过对输出脉冲进行计数来直接数字化频率。

一个很大的正电压增益,所以电路以谐振传感器网络的相移为零的频率振荡。输出是一个方波,其频率是位移的函数,在整个实际的间距范围内变化为2:1。假设微控制器已经是主机系统的一部分,图8电路的优点包括:

输出可以直接连接到微控制器的计数器端口,并通过计数脉冲进行数字化。微控制器使用校准期间存储的常数对输出进行数字线性化,偏移和缩放输出。

由于每个传感器组件(线圈和所有电子器件)都处于校准状态,因此不需要昂贵的高精度设备。

该电路以几百微安的电流工作在单一电源电压上。

该电路需要7个电子元件,材料成本约为0.35美元。一个PCB线圈的体积为0.50美元。随着负载和测试成本的增加,电缆和组装劳动力的增加,整个传感器子系统的成本仅增加2.00美元,成为大批量,基于微控制器的产品的成本。

图8中的电路以下列谐振频率振荡:



  式(13)

为了找到图8的元件值,我们首先根据前面介绍的步骤确定所需的工作频率。然后我们求解Cp的公式13并选择最接近的标准值。 Rs决定第一个逆变器输入端的信号幅度以及功耗。为了使噪声最小化,希望在逆变器输入端具有最大的信号。 R值越小,信号越大,但功耗越大。共振时,LC槽的阻抗是纯阻性的,等于:



  式(14)

Rs和Rres形成一个分压器,所以幅度由下式给出:



  式(15)

哪里:



4 /π?? VDD是方波输出信号的基波幅度。我们只需要考虑基波分量,因为Rs和LC谐振回路形成一个以振荡频率为中心的带通滤波器。该滤波器将除基本分量之外的所有其他分量衰减到可以忽略的水平。一个好的经验法则是,当线圈被卸载时(即当目标不存在时),公式15中的峰 - 峰值幅度至少应为电源电压VDD的一半。有了这个指导方针,我们可以设置Rs≈Rres,Rres找到卸载的案例。



谐振电阻越高(公式14),驱动传感器所需的功率就越小。请注意,电阻增加,功率下降,频率更高,电感更高,Q值更高。



例如图8所示的CMOS门振荡器展现出奇怪的功耗特性。第一个反相器部分时间在输入处于逻辑门限时运行。这将其置于所谓的线性区域,在那里它像B类线性放大器那样工作,并直接从电源向地传导电流。电源电压越高,B类电流越高,因此图8电路中的功率随电源电压迅速增加。例如,从VDD = 2.0 V到2.5 V,电流增加四倍。通过在VDD和逆变器电源引脚之间放置一个电阻器,电路可以在更高的电源电压下工作,同时保持低功耗。电阻器会降低逆变器的电压,并提供负反馈以限制B类电流。当然,去耦电容应该仍然连接到芯片的电源引脚。



模型传感器系统设计


图9.这个38毫米直径的PC传感器是在约2小时内设计和制作的。借助PC铣床。在0.76毫米(0.030英寸)电路板上构建的迹线宽度为0.5毫米,间距为0.76毫米,在两层上总共产生了34匝。

图9中显示的传感器是为了说明低成本传感器系统的完整设计而制造的。这是一个八角形螺旋铣削数控铣床专门设计用于快速原型印刷电路。有了这台机器,传感器线圈可以在<1小时内设计和制造。图3显示了该传感器与铝靶的LCR测量结果。所用电路如图8所示,Rs = 10kΩ,Cp = 910 pF,VDD = 2.0 V.Rs为1%,100 ppm / °C的金属膜电阻,但5%,200 ppm /°C电阻对整体性能的影响可以忽略不计。 Cp是一个5%NPO电容器,温度系数为±30 ppm /°C。 Cp的初始精度仅影响初始频率,并且通常被校准。但是,Cp的漂移非常重要,因此必须使用NPO电容器或类似稳定的电容器。


图10.栅极振荡器的频率输出在19 mm检测范围内几乎变化2:1或1 MHz。本例使用38毫米PC传感器和一个铝制目标。

图10显示了模型传感器系统的频率输出。数据是在HP53132A频率计的帮助下获得的。由于图3中的总电感偏移是4:1,因此频移是其平方根或2:1。在1 MHz和2 MHz之间工作时,总共有近1 MHz的总频移。



频率是位移的高度非线性函数,因此线性化至关重要。经验导出的函数:



式(16)


图11.对于19 mm的范围,门极振荡器在校正后会产生1%的优异线性度。

当fo = 981kHz时,产生图11的线性化输出。线性误差<20mmF.S.的1%。范围,或200微米。通过大量点校准和分段校正,可以获得更好的线性。利用等式16线性化分段线性校正的优点在于常数m,b和fo可以仅用三个校准点获得:终点和该范围中间附近的点。甚至不需要准确地知道中间点,因为校准过程只需要将该点放置在端点之间的直线上。




图12.在280 mA和2 V时,门极振荡器的灼伤小于600μW,符合微功率传感器的要求。涡流使传感器Q降级,当目标接近传感器时增加功率并降低幅度。

图12显示了传感器幅度和电源电流。请注意,由于Q快速下降,因此对于较小的间距值,振幅会减小。降低的Q值还需要来自电源的更多驱动电流。在2.0 V电源电压情况下,最坏情况下的功耗<600μW。功率非常低,输出端15 pF示波器探头的电容会由于电荷泵送而使功率增加20%。



传感器的频率输出非常非线性,在整个斜坡上变化了大约125:1的斜率。如果电路噪声和量化误差在频率方面大致恒定,那么就位移而言它们将不是恒定的。就位移而言,噪声和分辨率与频率曲线的斜率成反比,因此它们也会变化125:1。如果我们通过在Tg的门限时间内计数N个脉冲来测量频率,则估计的频率为fest = N / Tg。量化误差为±1计数,所以频率分辨率为Δf= 1 / Tg。显然,选通时间越长(采样速率越慢),分辨率越高。通过计算较长时间可以达到任意高分辨率。由于计数过程用作数字低通滤波器,所以同时降低了噪声。



位移方面的分辨率取决于频率曲线的斜率:



  式(17)


图13.随着目标离开传感器,位移噪声和量化误差增加,因为电感变化随距离而衰减。噪声和量化与一个线圈半径的满刻度间距有关,频率计数器的门限时间为100 ms。

噪声遵循与公式17相同的形式,对于较大的间隔值,噪声会增加。图13显示了门控时间为100 ms或数字化速率为10 sps时模型传感器的分辨率和噪声。使用HP53132A计数器测量的噪声为〜20 Hz p-p,门限时间为100 ms。大多数噪音频率很低(<1 Hz),并且可能由气流引起的振动或温度变化引起。请注意,通过简单限制最大间距,可以获得更高的分辨率和更低的噪音。



观察噪声的一种非常好的方法是在数字示波器上显示输出方波,并将范围延迟1 ms。当传感器工作在1 MHz(1μs周期)时,示波器将显示1000个周期内累积的相位噪声。随着数字范围设置为无限持久性,




图14.栅极振荡器的温度稳定性与一些最好的商用传感器相比相当有利。温度系数取决于一个线圈半径。

痕迹将“绘制”一个几纳秒宽的带。这个频带的宽度除以1ms的延迟时间给出相对噪声。例如,20nsp-p / 1ms在1MHz为20ppm或20Hz。

图14显示了传感器和电子部件的温度稳定性。在大位移处稳定性较差,因为在较大的间距下,温度稳定性与分辨率和噪声具有相同的缺点。限制检测范围可以大大提高温度稳定性。表3总结了两种满量程范围的模型传感器的测量性能。



结论

电涡流传感器对于范围相对较小的精密非接触位移传感是有利的。 当环境很脏或需要通过介入材料进行检测时,它们特别有用。 在提供微控制器的应用中,可以使用印刷电路传感器和所有电子产品通用的制造方法,将高性能涡流传感器添加到系统中几美元。



经验对涡流传感器的成功设计至关重要,但由于印刷电路传感器易于原型且便宜,并且只需要基本的电子仪器进行测试,所以它很快就获得了成功。 基本设计计算可以使用台式计算机和电子表格程序完成。 未来的文章将探讨先进的计算机辅助设计方法,以优化传感器和先进的电路设计,以提高温度稳定性。

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