各类真空泵原理概述大全

此文档一共13页，部分内容摘录如下：

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。

真空区域的划分

粗真空105～103Pa

低真空103～10-1Pa

高真空10-1～10-6Pa

超高真空10-6～10-10Pa

极高真空<10-10Pa

真空泵的分类

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。

变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。

动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。（单独段介绍）

变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。

各类真空泵工作压力范围

真空泵种类

工作压强范围（Pa）

往复式真空泵1×105～1.3×102

旋片式真空泵1×105～6.7×10-1

液环式真空泵1×105～2.7×103

罗茨式真空泵1.3×103～1.3

水蒸气喷射泵1×105～1.3×10-1

油扩散泵1.3×10-2～1.3×10-7

钛升华泵1.3×10-2～1.3×10-9

真空泵的规格及型号表示法

国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“1”省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。

常用真空泵技术

蒸汽喷射泵

湿式泵（液环真空泵、旋转叶片泵）

干式泵（罗茨泵、螺杆泵、爪式泵）

1、蒸汽喷射泵

喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。工作原理如下图所示：

常用真空泵技术

小提示：登录后刷新 微信支付7元即可获取资料附件~

       各类真空泵原理概述大全.docx